一、气相沉积技术在模具上的应用（论文文献综述）
李月[1]（2021）在《Cr涂层改善PET光学薄膜模具精密电铸质量的研究》文中研究说明近年来,光学薄膜在新能源与节能技术、新媒体与信息技术中得到迅猛发展。光学薄膜表面的微细结构可以有效提高出光效率和光线利用率。光学薄膜的量产依赖热压印和光固化技术,二者均需要将工作模具上的微结构转印到聚合物薄膜上。精密电铸工艺以其表面复制精度高、生产效率高等优点,已成为制造工作模具的主要方法。工作模具的电铸质量取决于电沉积和脱模的质量。研究如何提高电沉积质量的报道很多,脱模时如何兼顾模具单个微结构的精度和大面积工作模具表面的完整性,仍面临巨大挑战。本文针对脱模过程中结合力过大导致模具精度降低的问题,研究涂层在脱模中的作用。以聚合物光学薄膜作为原始模具,使用磁控溅射的方式制备Cr涂层辅助脱模,对Cr涂层的制备工艺进行了系统的实验研究,优化了涂层制备工艺参数,并分析了Cr涂层降低电铸脱模结合力的机理。主要工作为以下几个方面:（1）Cr涂层的制备工艺。采用磁控溅射的方式制备Cr涂层,介绍了磁控溅射基本原理和薄膜沉积厚度的测量校正方法;同时介绍了光学接触角、XRD和XPS测试原理;研究了溅射功率、溅射时间、衬底温度、氩气流量及样品台转速对Cr涂层沉积量和模具表面粗糙度的影响。研究表明,Cr靶材溅射沉积量及均匀性对模具表面粗糙度影响显着。（2）PET光学薄膜模具微电铸工艺。搭建了微电铸实验平台,并研究了有无Cr涂层的对比方案。通过激光共聚焦显微镜、扫面电子显微镜、逆反射标志测量仪及测力仪对两组实验方案电铸脱模力、铸件工作表面形貌、粗糙度及逆反射系数进行了测量和分析。研究表明,采用Cr涂层能够有效降低电铸脱模力,并提高铸件工作表面质量及光学性能。（3）Cr涂层制备工艺参数优化。采用正交试验的方法研究了Cr涂层溅射工艺参数对铸件脱模强度、表面粗糙度及逆反射系数的影响。通过矩阵分析法得到正交实验的最优方案为:溅射功率为250W,溅射时间为15s,衬底温度为20℃,氩气流量为30sccm,样品台转速为20rpm;各个因素对正交实验的指标值影响主次顺序为:溅射时间>样品台转速>氩气流量>溅射功率>衬底温度。（4）Cr涂层降低界面粘附力的机理分析。设计了不同沉积厚度Cr涂层的实验,通过光学接触角测量仪、X射线光电子能谱仪及光学共聚焦显微镜对PET光学薄膜模具表面进行测试。研究表明,随着Cr涂层厚度的增加,模具表面的极性含氧官能团（C-O键和C=O键）数量明显减少,表面趋于疏水,表面粘附能量降低,同时Cr的存在提高了Ag导电层的结晶度;分析了各个因素对电铸脱模强度和铸层粗糙度的影响过程。
王福贞[2]（2020）在《“热处理技术”和“真空镀膜技术”在走向融合》文中研究表明"热处理技术"和"真空镀膜技术"都是赋予零部件优异性能的技术,在国民经济的很多方面发挥了重要作用。最近几年,随着高新技术产品和高端制造业发展的需要,这两种技术在趋向融合。本文简介几种技术相互融合、相互助力的实例,说明社会发展需要热处理专业的科技工作者学习真空镀膜技术方面的知识。"真空镀膜技术"应该设为"热处理专业"、"材料专业"的技术基础课。
王光[3]（2020）在《模具钢自纳米化及其盐浴渗钒的表面改性研究》文中指出模具是工业生产中重要的构成部分,通常在高负荷、高冲击力的环境中工作。提高模具的性能,延长其使用寿命是十分必要的,因此对模具用钢进行表面强化处理是一种行之有效的方法。利用表面纳米化方法可以有效降低化学热处理温度、优化金属表面的结构和性能等优势,解决传统盐浴中存在的耗能高、处理温度高和实验环境差等问题。本文将表面纳米化与盐浴渗钒技术相结合,利用SMAT在45#钢表面获得纳米结构表层,利用纳米晶钢所具有的特性在低温下获得碳化钒覆层。通过借助光学显微镜（OM）,扫描电子显微镜（SEM）,X射线衍射仪（XRD）、HV-1000硬度计、摩擦磨损机等表征手段对SMAT处理后的45#钢进行组织结构和力学性能的分析,对纳米表面渗钒层的组织结构和显微硬度进行分析。主要结论如下:（1）经过SMAT处理,在45#钢的表面获得了厚度大于80μm的变形层,表面层晶粒的尺寸大小在48 nm70 nm之间;表层的显微硬度提升了25.7%,且沿深度方向硬度由表层到中心呈梯度变化;表面磨痕的深度、宽度以及摩擦系数均小于未经SMAT处理的表面。（2）机械研磨的参数（振动时间和振动频率）影响纳米层深度和晶粒尺寸。当弹丸与工件的距离恒定时,纳米晶层的深度随着振动时间的增大而增大,随着振动频率的增大而减少;晶粒尺寸随着振动时间的增大而变小。（3）确定盐浴渗钒的配方:73%Na2B4O7+13%V2O5+4%B4C+10%NaF,获得了致密均匀的碳化钒覆层。将SMAT预处理过的45#钢试件在盐浴中进行渗钒处理（处理温度750900℃,保温时间48 h）得到2.5810.42μm的碳化钒覆层,而未经SMAT处理的试件覆层厚度是07.18μm。在处理温度850℃,保温时间48 h下,覆层的厚度相比未SMAT处理的试件增加了44.468.1%。在保温时间4 h,处理温度800900℃下,覆层的厚度是未经SMAT处理试件厚度的1.382.51倍。（4）覆层厚度与机械研磨参数一定关系:在相同的渗钒工艺下,渗钒层的厚度随着振动频率的增大先增加后降低,随着研磨时间的增加而增加。（5）在处理温度850℃,保温时48 h的渗钒工艺下,覆层的表面硬度在HV1600以上,提高了3.864.72倍,且沿深度方向的硬度分布从高硬度急剧降低到基体的低硬度,在界面附近存在突变。本研究表明,将表面纳米化与盐浴渗钒技术相结合在提高模具表面性能方面效果显着,对节能减排、改善环境有重要意义。
支本丰[4]（2020）在《区域化激光仿生耦合组合提高B2大型锻造模具性能及使用寿命研究》文中提出随着我国工业水平的快速发展和变化,具有热稳定性高,价格便宜的4Cr2MoVNi的模具钢在大型热锻模具上得到了广泛的应用。但是在恶劣的工作环境中经过锻压机的挤压、坯料的冲刷磨损以及模具表面的冷热循环使得局部模具表面出现疲劳裂纹和严重磨损的现象,导致模具的使用寿命远远低于设计寿命。因此在加工制造行业中,对大型锻造模具表面进行分区域强化,增强模具的表面抗疲劳磨损性能,提升模具的精度和延长使用寿命具有巨大的应用价值和重要的实际意义。经实际调研发现,生产车间为提升模具表面耐磨性通常对模具进行整体强化处理。但是针对大型锻造模具而言整体强化处理存在明显的局限性:首先模具经过整体强化后并不能解决模具局部表面磨损严重的问题;其次刻意增加强化时间,增加强化层厚度会浪费加工资源,增加生产成本;最后模具表面整体硬度增加使其在循环应力的作用下加剧生成机械裂纹,导致模具报废。根据耦合仿生学理论得出生物在千百年的进化过程中会形成软硬相间的非光滑结构来抵抗生存环境所带来的摩擦接触。本研究在前人研究的基础上,结合耦合仿生理论,利用激光熔凝加工技术首次在大型锻造模具表面制备出不同结构和形态的耦合仿生单元体,分区域提高模具表面的抗疲劳磨损性能。并且与传统强化方法进行对比,分析影响模具表面疲劳磨损量的主次因素,验证区域强化手段在实际生产过程中的实用性。本文研究了耦合仿生单元体结构,形态和特征量对4Cr2MoVNi模具钢抗疲劳磨损性能的影响,对模具表面进行分区域强化处理并且验证在实际生产中的实用性。本研究设计了耦合仿生单元体面积占比分别为45%、60%的条纹状和网格状,面积占比为100%的密排状三种耦合仿生结构。在实验中通过控制热疲劳温度,激光能量和耦合仿生模型的单一变量总结影响模具疲劳磨损性能的主次因素。利用有限元软件对大型锻造模具表面的温度场、应力场和磨损量进行模拟分析。根据所得规律在模具表面温度、应力和磨损程度不同的表面分别制备不同耦合仿生单元体模型,并且对耦合仿生处理后的模具进行实际生产试验。研究结果表明:首先仿生耦合单元体模型面积占比越大,试样的抗疲劳磨损的性能越好;其中网格状仿生耦合单元体模型的抗疲劳磨损性能要优于条纹状仿生耦合模型;在所有模型当中,具有密排结构的试样的抗疲劳磨损性能最好。其次在不同疲劳温度,激光能量的试验下,研究表明密排结构的仿生耦合试样的抗疲劳最优,其次为网格状仿生耦合模型,最后为条纹状仿生耦合型;并且得出影响磨损量主要因素关系为仿生耦合模型种类（29）疲劳温度（29）激光能量,接着在模具表面分别采用153.5J/cm2、161.3J/cm2和174.5J/cm2三种激光能量制备不同耦合仿生模型。最后在工厂实际生产过程中发现,在生产相同数量的锻件后,根据磨损程度不同的区域制备不同的仿生耦合模型组合可以增强模具的抗疲劳磨损性能,使得模具表面磨损程度达到一致。另外对具有仿生耦合表面的模具理论生产锻件数进行曲线拟合,由此得出分区域制备不同仿生耦合模型组合可使得模具寿命提高1.57-1.80倍。根据大型模具表面非均匀疲劳磨损的特点,制备不同的仿生耦合模型组合用以局部强化模具性能,可以提高模具的使用寿命,具有重要的实际意义。
唐宁[5]（2019）在《基于纳米毛细管成形技术的一维纳米线微型气体传感器的制造》文中指出基于纳米结构的微型传感器,因其具有非常高的表体比和极低的功耗,在新型传感器的开发中受到了广泛的关注。然而,目前对于纳米结构的制造大多还依靠昂贵的设备和复杂的工艺,极大限制了基于纳米结构的器件在实际生活中的应用。近年来,逐渐发展的印刷技术被广泛用于微型电子元器件和芯片的制造,其具有制造成本低、可大面积重复制造的优势。但是由于工艺的限制,传统印刷技术很难实现亚微米甚至纳米结构的稳定制造。针对以上问题,本文从器件的底层做起,采用了基于纳米毛细管成形技术的纳米印刷方法,针对制造过程中的关键工艺参数进行了实验和优化,分别在硬质基底和柔性基底上制备了一维有序导电高分子纳米线阵列,单根纳米线线宽小于100 nm,单次印刷面积可以达到1 cm?1 cm。在纳米线结构成功制备的基础上,将其集成为电阻式微型传感器或传感器阵列的敏感单元,并探究集成后的传感器对NH3、NO2、挥发性有机化合物的检测性能。主要研究内容和成果包括:1.本文采用了基于纳米毛细管成形技术的纳米印刷方法,通过优化工艺参数和步骤,成功地在硅基底和柔性基底上实现了一维有序导电高分子纳米线阵列的制造,证明了该技术对基底和功能化材料具有很好的适用性。2.在完成纳米线阵列制备的基础上,实现了基于纳米线的硅基微型气体传感器的制造。通过检测NO2和NH3,对该传感器的气体检测性能和传感机理进行了研究;对比了基于纳米线的器件与薄膜式器件在气体响应上的差别,验证了纳米线结构在检测方面的优势。3.为有效检测和区分不同种类的挥发性有机化合物,本文以氧化石墨烯掺杂的导电聚合物为气敏材料,通过纳米毛细管成形技术开发了基于复合材料纳米线阵列的电子鼻装置,分析了挥发性有机化合物的检测机理,并结合模式识别算法验证了该装置在挥发性有机化合物区分方面的可行性。4.针对柔性器件在气体检测领域的需要,使用纳米毛细管成形技术实现了基于PEODT:PSS纳米线的柔性微型气体传感器的制备,并对该传感器的机械性能、气体检测性能进行了分析;通过设计具有阻抗检测功能的电路板和可实时显示阻抗的手机APP,在集成柔性微型传感器的情况下,实现了基于纳米线的手机交互式可穿戴气体检测系统的制造,并验证了该系统在有毒气体检测和食物腐败过程监测方面的应用潜力。
刘恋[6]（2019）在《Cr12MoV钢表面电弧离子镀TiCN膜及复合处理技术研究》文中进行了进一步梳理汽车零部件主要依靠冲压模具成型,而冲压模具往往于表面最先失效,模具表面性能的优劣直接影响到模具的使用及寿命。PVD镀膜技术是提高冲压模具表面硬度与耐磨性的一种经济、有效的方法。为满足我国冲压模具产业高强度、高质量和大批量生产等方面的发展需求,延长冲压模具的使用寿命,需确保硬质薄膜具备更高的硬度与耐磨性,薄膜与基体之间具有良好的结合强度。本文采用电弧离子镀技术制备了系列TiCN薄膜和Ti/TiCN多层膜,同时通过等离子渗氮与电弧离子镀复合处理技术在模具钢上制备复合薄膜,重点研究了偏压、调制周期等镀膜工艺参数和渗氮预处理技术对TiCN薄膜和Ti/TiCN多层膜组织结构和机械性能的影响。主要结果如下:通过电弧离子镀技术制备TiCN单层膜,采用正交实验,初步探索偏压、气体总量和气体流量比值对TiCN薄膜显微组织和机械性能的影响规律,实验结果表明:偏压对TiCN薄膜的硬度与结合力的影响最显着,气体总量对薄膜厚度影响最大。正交实验的最佳工艺方案是气体总量:300 sccm,气体比值:Q（CH4）:Q（N2）=2:1,偏压:-200 V。对偏压参数进行优化,沉积一系列不同偏压的TiCN薄膜。实验结果表明:偏压对TiCN薄膜中碳的存在形式有重要影响。随着偏压的提高,TiCN薄膜硬度大幅提高,结合力先增大后减小,耐磨性提高,主要摩擦磨损机制从黏着磨损转变为磨粒磨损。在偏压为-250 V时,TiCN薄膜获得最佳的综合性能,硬度值为4017 HV0.025,膜基结合力为51.06 N,平均摩擦系数为0.3221,磨损率为2.9×10-7 mm3·N-1·m-1。研究调制周期对Ti/TiCN多层膜的显微组织和机械性能的影响。结果表明:多层膜截面组织均为柱状晶,随着调制周期的减小,晶粒变小,Ti/TiCN多层膜表面液滴情况改善,促进TiC0.7N0.3在（200）和（220）方向的生长。同时,随着调制周期的减小,多层膜硬度线性增加,最高硬度值为4010 HV0.025;膜基结合强度先增加后减小,摩擦系数和磨损率均表现出先增大后减小的趋势,且主要磨损机制为磨粒磨损。调制周期为188 nm时,Ti/TiCN多层膜综合性能最好,此时硬度为3601 HV0.025,结合力为52.91 N。平均摩擦系数为0.4328,磨损率为4.66×10-7 mm3·N-1·m-1。采用等离子渗氮技术与电弧离子镀技术,对Cr12MoV钢进行表面复合强化处理。结果表明:渗氮预处理对复合薄膜的硬度和结合力均有提高,复合膜具备更好的耐磨性,其中,渗氮预处理与TiCN复合的薄膜综合性能最佳,其硬度值为4257 HV0.025,结合力为60.61 N,平均摩擦系数为0.3014,磨损率为2.41×10-7 mm3·N-1·m-1。
李帅[7]（2019）在《复杂形状工业模具DLC涂层制备可行性研究》文中研究指明DLC涂层在模具上已获得应用并取得了较好的使用效果,但目前的沉积表面多为小尺寸的平面,在多特征的复杂面上应用较少。本文为探究DLC涂层在复杂形状工业模具上应用的可行性,以轮胎模具为研究对象,在轮胎模具上沉积DLC涂层,并对其表面结构及工作性能进行研究。主要研究内容如下:（1）仿真基体的设计、加工及涂层制备。以轮胎模具的典型花纹特征为依据,进行仿真基体的设计。采用磁控溅射与等离子体增强化学气相沉积（PECVD）相结合的方法在基体上（35号钢）分别沉积含氢类金刚石涂层（H-DLC）和掺氟类金刚石涂层（F-DLC）。（2）DLC涂层多特征表面疏水性的研究。为研究轮胎模具DLC涂层的脱模及清洗性能,采用扫描电镜、EDS能谱、白光干涉仪对试件表面成分、表面形貌及粗糙度进行检测,利用接触角测量仪对试件的接触角进行测量。研究表明,H-DLC和F-DLC涂层多特征面上疏水性能良好,达到模具脱模要求。（3）DLC涂层纳米硬度、结合强度的研究。为研究轮胎模具DLC涂层的抗脱落及抗破坏的能力,采用划痕实验机和纳米压痕仪对两种DLC涂层进行划痕试验和硬度试验。研究表明,两种DLC涂层硬度、结合强度均达到轮胎模具的工作要求,H-DLC涂层硬度、结合强度更为优异,其临界载荷Lc2、硬度、弹性模量分别为61.77N、19.86GPa、162.56GPa。膜-基结合强度随着花纹角及宽深比的增加而增大。（4）DLC涂层的摩擦磨损研究。为研究轮胎模具DLC涂层能否满足工作时橡胶的流动及橡胶硫化对模具表面的影响,利用摩擦磨损试验机模拟橡胶硫化环境,在基体和两种DLC涂层表面进行摩擦磨损实验。研究表明,两种DLC涂层的摩擦磨损特性较好,可以为基体提供保护并起到减摩耐磨的作用。F-DLC涂层摩擦磨损性能最优,当粗糙度为55nm时,其摩擦系数低至0.1835,磨损量为0.011g。经过试验研究,当花纹角大于105°,宽深比大于1.5时,有利于DLC涂层在花纹沟上的沉积。H-DLC涂层和F-DLC涂层表面特性及工作性能满足轮胎模具工作要求,具备成为轮胎模具表面涂层的条件,其中F-DLC涂层在工业模具上更具有应用前景。
张而耕,朱州,张体波[8]（2014）在《超硬纳微米PVD涂层技术在模具领域的发展》文中研究指明介绍了PVD涂层技术的分类,综述了PVD涂层技术在冲压/成型、挤压、拉拔、塑料、铝合金等模具应用领域的研究进展。展望了随着PVD涂层技术的快速发展,其在模具领域的应用将会更加广泛。
唐宇,尹德政[9]（2014）在《气相沉积涂层技术用于钻探机具的硬质润滑薄膜》文中进行了进一步梳理钻探机具,要带有最优的耐磨特性,以及最优的耐蚀特性;在苛刻的态势下,也应妥善运转。钻探机具固有的表面性能,涵盖了配件的耐磨特性。载能粒子惯常的沉积状态,关涉着摩擦薄膜特有的构架问题。要提升配件原有的耐磨特性,就应提高机具表层硬度,用气相沉积技术,接纳复合架构下的、多层级高结合力的层积思路,制备出硬度较高的表层。这样制备好的润滑薄膜,带有独特构架及特有的性能,能提快原有的钻探速率,供应可用的新技术。
廖树辉[10]（2013）在《减摩耐磨镀层在压力连接模具上的应用研究》文中认为压力连接技术广泛应用于汽车、家电和航天航空等领域，为降低板材压接成本、提高企业生产效率，提高模具使用寿命是其主要途径之一。针对目前压接模具容易磨损、脆断或崩刃、开裂和变形等导致模具失效的问题，研究减摩耐磨镀层在压力连接模具上的应用，可提高模具表面的强度、硬度、耐磨性和韧性等性能，从而延缓模具失效，最终提高模具使用寿命。本文利用闭合场非平衡磁控溅射离子镀和化学气相沉积技术，分别在压接模具常用基材DC53冷作模具钢和M2高速钢基体上沉积了类石墨碳膜（GLC）和TiCN/TiC/TiCN/TiN多层结构薄膜。采用显微硬度计、洛氏压入法、光学金相显微镜、球坑仪和球盘磨损实验机检测了薄膜的各项力学性能和摩擦磨损性能，并计算出薄膜在各条件下的承载能力；采用Raman光谱、SEM、EDS和XRD分析和探讨了薄膜的微观结构、表面和截面形貌以及成分。得到的主要研究成果和结论包括：两者都有较好的力学性能：GLC薄膜有较高的显微硬度HK25g1625.86和非常优异的膜基结合强度HF1级，膜厚大约为1.7μm；TiCN/TiC/TiCN/TiN多层结构薄膜有很高的显微硬度HK25g2883.30和良好的膜基结合强度HF1HF2级，膜厚大约为5.0μm。GLC薄膜有极高的减摩耐磨及承载性能：无论是在高载荷、中温（150℃）还是在湿摩擦、润滑油环境中，薄膜都无磨损失效，而且都表现出极低的摩擦系数（0.080.13）、极小的比磨损率(10-1810-17m3/（N·m）的数量级)和极高的承载能力（高于0.702.12GPa）。TiCN/TiC/TiCN/TiN多层结构薄膜耐磨性较高，但不具备明显的减摩特性，承载能力也较低：在高载荷和湿摩擦下容易磨损失效，在中载（40N）、高温环境中有较高的摩擦系数（0.290.37）和比磨损率(10-16m3/（N·m）的数量级)，以及较低的承载能力（高于0.440.53Gpa）；添加润滑油后的耐磨性与GLC碳膜相似，但承载能力仍然较低（高于0.85GPa）。GLC薄膜和TiCN/TiC/TiCN/TiN多层结构薄膜用于压接模具都可以提高其表面性能。但GLC薄膜的减摩耐磨及承载性能明显优于TiCN/TiC/TiCN/TiN多层结构薄膜，更适合应用于经常处于高载荷等恶劣条件下工作的压接模具。因此，本文的研究成果为延缓模具失效和提高模具使用寿命提供了一种可靠的途径，最终将提高板材压接生产效率和经济效益。
二、气相沉积技术在模具上的应用（论文开题报告）
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文主要提出一款精简64位RISC处理器存储管理单元结构并详细分析其设计过程。在该MMU结构中,TLB采用叁个分离的TLB,TLB采用基于内容查找的相联存储器并行查找,支持粗粒度为64KB和细粒度为4KB两种页面大小,采用多级分层页表结构映射地址空间,并详细论述了四级页表转换过程,TLB结构组织等。该MMU结构将作为该处理器存储系统实现的一个重要组成部分。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
三、气相沉积技术在模具上的应用（论文提纲范文）
（1）Cr涂层改善PET光学薄膜模具精密电铸质量的研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| abstract |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 选题背景及研究意义 |
| 1.2 精密电铸技术及其在模具制造中的应用 |
| 1.2.1 精密电铸原理及特点 |
| 1.2.2 精密电铸在模具制造中的应用 |
| 1.3 精密电铸脱模粘附及方法研究 |
| 1.3.1 表面粘附及影响因素 |
| 1.3.2 电铸脱模方法研究现状 |
| 1.4 抗粘涂层及制备方法 |
| 1.4.1 抗粘涂层降低表面粘附力研究 |
| 1.4.2 常规抗粘涂层制备方法 |
| 1.5 研究目的和内容 |
| 1.5.1 研究目的 |
| 1.5.2 研究内容 |
| 第2章 物理气相沉积法制备Cr涂层 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 磁控溅射系统工作原理 |
| 2.2.1 实验原理 |
| 2.2.2 薄膜形核与生长 |
| 2.2.3 溅射薄膜沉积速率影响因素 |
| 2.2.4 实验流程 |
| 2.2.5 溅射膜厚测量及校正 |
| 2.3 Cr涂层表面的表征 |
| 2.3.1 表面接触角及表面能测试 |
| 2.3.2 涂层表面物相分析测试 |
| 2.3.3 涂层表面材料成分及化学状态测试 |
| 2.4 溅射工艺参数对Cr涂层及模具表面质量的影响 |
| 2.4.1 溅射功率对涂层形貌及表面粗糙度的影响 |
| 2.4.2 溅射时间对涂层形貌及表面粗糙度的影响 |
| 2.4.3 氩气流量对涂层形貌及表面粗糙度的影响 |
| 2.4.4 衬底温度对涂层形貌及表面粗糙度的影响 |
| 2.4.5 样品台转速对涂层形貌及表面粗糙度的影响 |
| 2.5 本章小结 |
| 第3章 PET光学薄膜模具精密电铸实验 |
| 3.1 精密电铸实验 |
| 3.1.1 实验材料及前处理 |
| 3.1.2 实验流程及方案 |
| 3.1.3 电铸工艺参数 |
| 3.1.4 实验设备 |
| 3.2 精密电铸件性能测试 |
| 3.2.1 脱模强度 |
| 3.2.2 表面粗糙度 |
| 3.2.3 微观形貌及能谱 |
| 3.2.4 反光性能 |
| 3.3 精密电铸实验结果 |
| 3.3.1 脱模强度 |
| 3.3.2 电铸件表面粗糙度 |
| 3.3.3 电铸件表面微观形貌 |
| 3.3.4 电铸件反光系数 |
| 3.4 本章小结 |
| 第4章 涂层制备工艺参数优化 |
| 4.1 Cr涂层改善PET光学薄膜模具精密电铸的正交实验 |
| 4.1.1 正交实验过程 |
| 4.1.2 正交实验结果及分析 |
| 4.1.3 正交实验矩阵分析法确定最优工艺参数 |
| 4.2 本章小结 |
| 第5章 Cr涂层改善PET光学薄膜模具精密电铸质量分析 |
| 5.1 表面微观形貌和粗糙度 |
| 5.2 表面接触角和表面能 |
| 5.2.1 接触角测量及分析 |
| 5.2.2 表面能计算及分析 |
| 5.3 Cr涂层对PET光学薄膜模具表面化学特性及晶体结构的影响 |
| 5.3.1 表面光电子能谱分析 |
| 5.3.2 表面X射线衍射分析 |
| 5.4 电铸脱模强度的变化分析 |
| 5.5 正交实验影响因素对脱模强度和粗糙度的影响分析 |
| 5.5.1 脱模强度 |
| 5.5.2 铸件表面粗糙度 |
| 5.6 本章小结 |
| 第6章 结论与展望 |
| 6.1 结论 |
| 6.2 展望 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
| 在学期间科研成果情况 |
（2）“热处理技术”和“真空镀膜技术”在走向融合（论文提纲范文）
| 1 真空镀膜技术 |
| 1.1 真空镀膜技术的应用 |
| 1.2 真空镀膜技术分类： |
| 1.3 采用真空镀膜技术沉积工模具硬质涂层 |
| 2 热处理技术和真空镀膜技术的对比 |
| 2.1 两种技术提高零件表面硬度 |
| 3“热处理技术”和“真空镀膜技术”在走向融合 |
| 3.1“融合”的现状 |
| 3.2“热处理技术”和“真空镀膜技术”融合实例 |
| 4 结论 |
（3）模具钢自纳米化及其盐浴渗钒的表面改性研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| abstract |
| 1 绪论 |
| 1.1 研究背景和意义 |
| 1.1.1 研究背景 |
| 1.1.2 研究意义 |
| 1.2 模具的材料分类和失效形式 |
| 1.2.1 模具的材料分类 |
| 1.2.2 模具的失效形式 |
| 1.3 模具的表面强化技术 |
| 1.3.1 化学气相沉积方法 |
| 1.3.2 物理气相沉积方法 |
| 1.3.3 激光熔覆技术 |
| 1.3.4 表面纳米化方法 |
| 1.4 金属材料表面纳米化的性能研究 |
| 1.4.1 表面性能 |
| 1.4.2 机械性能 |
| 1.4.3 化学性能 |
| 1.5 金属盐浴渗钒概述 |
| 1.5.1 盐浴渗钒原理 |
| 1.5.2 渗钒工艺的分类 |
| 1.6 课题研究的目标和内容 |
| 1.6.1 研究目标 |
| 1.6.2 研究内容 |
| 2 实验材料及方法 |
| 2.1 实验材料 |
| 2.2 实验方案 |
| 2.2.1 实验工艺流程 |
| 2.2.2 表面纳米化工艺参数 |
| 2.2.3 盐浴渗钒的配方 |
| 2.3 实验设备 |
| 2.3.1 表面纳米化试验机 |
| 2.3.2 箱式电阻炉 |
| 2.4 试样制备 |
| 2.4.1 制备纳米层 |
| 2.4.2 纳米化后处理 |
| 2.4.3 盐浴渗钒的步骤 |
| 2.5 试样的表征方法 |
| 2.5.1 金相显微组织观察 |
| 2.5.2 扫面电镜分析 |
| 2.5.3 X射线衍射分析 |
| 2.5.4 显微硬度测试 |
| 2.5.5 摩擦磨损测试 |
| 2.6 本章小结 |
| 3 表面纳米化对45#钢的影响研究 |
| 3.1 组织结构分析 |
| 3.1.1 金相分析 |
| 3.1.2 SEM分析 |
| 3.1.3 XRD分析 |
| 3.2 力学性能的研究 |
| 3.2.1 显微硬度分析 |
| 3.2.2 摩擦磨损性能分析 |
| 3.3 本章小结 |
| 4 盐浴渗钒对45#钢表面纳米化影响的研究 |
| 4.1 盐浴渗钒对45#钢纳米表面的影响 |
| 4.1.1 保温时间对渗钒层的影响 |
| 4.1.2 处理温度对渗钒层的影响 |
| 4.1.3 机械研磨参数对渗钒层的影响 |
| 4.2 45#钢纳米表面渗钒层的结构及性能 |
| 4.2.1 渗钒层的形貌 |
| 4.2.2 渗钒层显微硬度分析 |
| 4.3 本章小结 |
| 5 结论与展望 |
| 5.1 结论 |
| 5.2 展望 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果 |
| 致谢 |
（4）区域化激光仿生耦合组合提高B2大型锻造模具性能及使用寿命研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| abstract |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 研究目的和意义 |
| 1.2 大型锻造模具钢发展趋势 |
| 1.2.1 4Cr5MoSiVl(H13)模具钢发展趋势 |
| 1.2.2 4Cr2MoVNi(B2)模具钢发展趋势 |
| 1.3 大型锻造模具钢抗疲劳性能研究现状 |
| 1.3.1 热疲劳发展机理和研究现状 |
| 1.3.2 影响热疲劳的因素及控制方法 |
| 1.3.3 模具钢的热疲劳性能研究进展 |
| 1.4 大型锻造模具钢抗磨损性能研究现状 |
| 1.5 激光仿生耦合技术的理论与应用 |
| 1.5.1 激光仿生耦合技术概述 |
| 1.5.2 激光仿生耦合技术应用 |
| 1.6 本文主要研究内容 |
| 第2章 实验材料及实验方法 |
| 2.1 实验材料 |
| 2.2 优化B2 模具钢激光参数及设计仿生耦合模型 |
| 2.3 激光仿生耦合试样的制备 |
| 2.3.1 毛坯试样的制备 |
| 2.3.2 激光仿生耦合表面加工 |
| 2.4 B2 模具钢材料性能检测 |
| 2.4.1 仿生耦合单元体截面分析 |
| 2.4.2 显微硬度测量 |
| 2.4.3 显微组织及物相分析 |
| 2.5 疲劳试验 |
| 2.6 往复磨损试验 |
| 2.7 试样磨损表面形貌观察分析 |
| 2.8 DEFORM有限元模拟分析 |
| 2.9 仿生耦合模型组合模具的实际应用 |
| 第3章 仿生耦合模型对B2大型锻造模具疲劳和磨损性能的影响规律 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 优化B2 模具钢激光加工参数 |
| 3.2.1 正交方案设计 |
| 3.2.2 正交方案结果与分析 |
| 3.3 B2 模具钢基体与仿生耦合单元体微观特征分析 |
| 3.3.1 B2 模具钢基体与仿生耦合单元体显微结构分析 |
| 3.3.2 B2 模具钢基体与仿生耦合单元体的显微硬度分析 |
| 3.4 仿生耦合模型面积占比对B2大型锻造模具疲劳性能的影响 |
| 3.4.1 疲劳裂纹在模具表面的萌生与扩展 |
| 3.4.2 疲劳后仿生耦合单元体的显微组织特征分析 |
| 3.4.3 仿生耦合模型组合抗疲劳裂纹扩展机理分析 |
| 3.5 仿生耦合模型面积占比对B2大型锻造模具磨损性能的影响 |
| 3.5.1 磨损失重量分析 |
| 3.5.2 B2 模具钢磨损相貌与磨损机理分析 |
| 3.6 探究仿生耦合模型对B2大型锻造模具疲劳磨损性能的影响规律 |
| 3.6.1 不同疲劳温度和激光能量下仿生耦合模型对疲劳性能的影响规律 |
| 3.6.2 不同疲劳温度和激光能量下仿生耦合模型对磨损性能的影响规律 |
| 3.7 本章小结 |
| 第4章 货车前轴模具表面DEFORM有限元模拟及实际生产情况分析 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 货车前轴模具表面DEFORM有限元模拟分析 |
| 4.3 大型货车前轴模具实际生产结果分析 |
| 4.4 本章小结 |
| 第5章 结论 |
| 参考文献 |
| 作者简介及硕士间所取得的科研成果 |
| 致谢 |
（5）基于纳米毛细管成形技术的一维纳米线微型气体传感器的制造（论文提纲范文）
| 摘要 |
| abstract |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 研究背景及意义 |
| 1.2 国内外研究现状 |
| 1.2.1 纳米线材料及相关气体传感器的研究现状 |
| 1.2.2 有序纳米线阵列制造方法的研究现状 |
| 1.2.3 纳米压印技术的研究现状 |
| 1.3 本课题主要研究内容 |
| 第二章 纳米毛细管成形技术的工艺及应用研究 |
| 2.1 纳米毛细管成形技术的工艺研究 |
| 2.1.1 软压印模板的制造研究 |
| 2.1.2 纳米毛细管成形技术的工艺步骤 |
| 2.2 纳米毛细管成形技术的应用研究 |
| 2.2.1 纳米毛细管成形技术在硬质基底上的应用研究 |
| 2.2.2 纳米毛细管成形技术在柔性基底上的应用研究 |
| 2.3 本章小结 |
| 第三章 基于纳米线的硬质微型气体传感器的制造和传感研究 |
| 3.1 硬质基底上纳米线的电学特性和无机气体检测系统搭建 |
| 3.1.1 硬质基底上纳米线的电学特性研究 |
| 3.1.2 无机气体检测系统的搭建 |
| 3.2 基于纳米线的硬质微型传感器的气体传感研究 |
| 3.2.1 基于纳米线的微型传感器对无机气体的响应研究 |
| 3.2.2 微型气体传感器对无机气体的传感机理研究 |
| 3.2.3 基于纳米线的微型传感器与薄膜式传感器的性能比较 |
| 3.3 本章小结 |
| 第四章 基于纳米线的电子鼻系统的制造和传感研究 |
| 4.1 电子鼻检测系统设计和电学特性 |
| 4.1.1 电子鼻检测系统的设计和制造 |
| 4.1.2 电子鼻检测系统的电学特性 |
| 4.2 电子鼻检测系统的性能测试 |
| 4.2.1 电子鼻检测系统的气体响应 |
| 4.2.2 电子鼻检测系统对挥发性有机化合物传感机理研究 |
| 4.2.3 电子鼻检测系统对挥发性有机化合物识别的研究 |
| 4.3 本章小结 |
| 第五章 基于纳米线的柔性微型传感器和可穿戴设备的制造 |
| 5.1 基于纳米线的柔性微型传感器的性能测试 |
| 5.1.1 基于纳米线的柔性微型传感器的电学特性 |
| 5.1.2 基于纳米线的柔性微型传感器的机械特性 |
| 5.1.3 基于纳米线的柔性微型传感器的气体响应研究 |
| 5.2 基于纳米线的手机交互式可穿戴检测系统的设计和应用研究 |
| 5.2.1 手机交互式可穿戴气体检测系统的设计和制造 |
| 5.2.2 手机交互式可穿戴气体检测系统的实时检测应用研究 |
| 5.3 本章小结 |
| 第六章 总结与展望 |
| 6.1 论文研究内容 |
| 6.2 论文创新点 |
| 6.3 后续研究工作展望 |
| 参考文献 |
| 附录 A |
| 附录 B |
| 发表论文和参加科研情况说明 |
| 致谢 |
（6）Cr12MoV钢表面电弧离子镀TiCN膜及复合处理技术研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 引言 |
| 1.2 Cr12型模具钢概述 |
| 1.3 汽车冲压模具表面处理技术 |
| 1.3.1 表面改性技术 |
| 1.3.2 气相沉积技术 |
| 1.3.3 表面复合处理技术 |
| 1.4 TiCN薄膜的研究现状 |
| 1.5 研究目的 |
| 1.6 研究内容 |
| 第二章 实验内容与方法 |
| 2.1 实验材料及预处理 |
| 2.2 实验制备 |
| 2.2.1 实验设备及原理 |
| 2.2.2 实验流程 |
| 2.2.3 技术路线 |
| 2.2.4 工艺方案 |
| 2.3 薄膜成分、结构及性能的表征 |
| 2.3.1 硬度测试 |
| 2.3.2 厚度表征 |
| 2.3.3 结合强度测试 |
| 2.3.4 微观形貌和成分分析 |
| 2.3.5 物相结构分析 |
| 2.3.6 摩擦磨损性能分析 |
| 第三章 TiCN薄膜的制备及性能研究 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 TiCN薄膜正交实验 |
| 3.2.1 工艺参数对TiCN薄膜表面形貌的影响 |
| 3.2.2 极差分析 |
| 3.2.3 正交实验工艺参数优选 |
| 3.3 不同偏压下TiCN薄膜的制备及性能研究 |
| 3.3.1 偏压对TiCN薄膜截面形貌的影响 |
| 3.3.2 偏压对TiCN薄膜晶体结构的影响 |
| 3.3.3 偏压对TiCN薄膜的成分、表面形貌和沉积速率的影响 |
| 3.3.4 偏压对TiCN薄膜力学性能的影响 |
| 3.3.5 偏压对TiCN薄膜摩擦磨损性能的影响 |
| 3.4 本章小结 |
| 第四章 Ti/TiCN多层膜的制备及性能研究 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 Ti/TiCN多层膜的制备 |
| 4.3 不同调制周期对Ti/TiCN多层膜性能的影响 |
| 4.3.1 调制周期对Ti/TiCN多层膜表面形貌和成分的影响 |
| 4.3.2 调制周期对Ti/TiCN多层膜截面形貌的影响 |
| 4.3.3 调制周期对Ti/TiCN多层膜沉积速率的影响 |
| 4.3.4 调制周期对Ti/TiCN多层膜晶体结构的影响 |
| 4.3.5 调制周期对Ti/TiCN多层膜力学性能的影响 |
| 4.3.6 调制周期对Ti/TiCN多层膜摩擦磨损性能的影响 |
| 4.4 本章小结 |
| 第五章 渗氮预处理复合电弧离子镀技术的研究 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 PN-PVD复合薄膜的制备 |
| 5.3 Cr12MoV钢渗氮层的组织和性能分析 |
| 5.3.1 Cr12MoV钢渗氮层微观组织的分析 |
| 5.3.2 Cr12MoV钢渗氮层机械性能的分析 |
| 5.4 渗氮预处理对TiCN薄膜和Ti/TiCN多层膜组织和性能的影响 |
| 5.4.1 渗氮预处理对TiCN薄膜和Ti/TiCN多层膜微观组织的影响 |
| 5.4.2 渗氮预处理对TiCN薄膜和Ti/TiCN多层膜力学性能的影响 |
| 5.4.3 渗氮预处理对TiCN薄膜和Ti/TiCN多层膜摩擦学性能的影响 |
| 5.5 本章小结 |
| 全文总结 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 |
| 致谢 |
| 附件 |
（7）复杂形状工业模具DLC涂层制备可行性研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 课题来源及研究背景 |
| 1.1.1 课题来源 |
| 1.1.2 课题研究背景及意义 |
| 1.2 DLC涂层的发展及应用 |
| 1.2.1 DLC涂层的结构与国内外研究 |
| 1.2.2 DLC涂层的应用 |
| 1.3 DLC涂层的制备方法 |
| 1.3.1 物理气相沉积法 |
| 1.3.2 化学气相沉积法 |
| 1.4 本课题的主要研究内容 |
| 1.5 本章小结 |
| 第二章 基体试件的设计、制造与DLC涂层的制备及检测 |
| 2.1 轮胎模具及其加工流程 |
| 2.1.1 轮胎模具 |
| 2.1.2 轮胎模具的加工流程 |
| 2.2 轮胎模具的花纹特征及基体试件的设计与制造 |
| 2.2.1 轮胎模具的花纹特征 |
| 2.2.2 基体的设计 |
| 2.3 DLC涂层的制备工艺 |
| 2.3.1 H-DLC涂层的制备 |
| 2.3.2 F-DLC涂层的制备 |
| 2.4 试件的后处理 |
| 2.5 涂层表面完整性检测方法及测试仪器 |
| 2.5.1 拉曼光谱 |
| 2.5.2 表面元素成分 |
| 2.5.3 表面形貌和粗糙度 |
| 2.5.4 涂层厚度 |
| 2.5.5 疏水角 |
| 2.5.6 膜-基结合强度 |
| 2.5.7 涂层纳米硬度和弹性模量 |
| 2.5.8 摩擦磨损特性 |
| 2.6 本章小结 |
| 第三章 DLC涂层微观结构特征 |
| 3.1 拉曼光谱表征及分析 |
| 3.2 涂层元素组成分析 |
| 3.3 涂层厚度及断面形貌分析 |
| 3.4 涂层的表面形貌及粗糙度分析 |
| 3.4.1 涂层的表面形貌 |
| 3.4.2 涂层的表面粗糙度 |
| 3.5 本章小结 |
| 第四章 轮胎模具DLC涂层工作性能研究 |
| 4.1 轮胎模具DLC涂层工作性能的评价指标 |
| 4.2 轮胎模具DLC涂层疏水性能的研究 |
| 4.2.1 粗糙度对DLC涂层疏水性的影响规律 |
| 4.2.2 不同种类DLC涂层疏水特性 |
| 4.2.3 特征面对疏水性的影响规律 |
| 4.3 轮胎模具DLC涂层纳米硬度、弹性模量的研究 |
| 4.3.1 纳米硬度试验 |
| 4.3.2 DLC的涂层纳米硬度与弹性模量分析 |
| 4.3.3 纳米硬度、弹性模量与压入深度的关系 |
| 4.3.4 特征面对DLC涂层纳米硬度、弹性模量的影响 |
| 4.4 轮胎模具DLC涂层结合强度的研究 |
| 4.4.1 基体粗糙度对膜-基结合强度的影响 |
| 4.4.2 不同种类DLC涂层的膜-基结合强度 |
| 4.4.3 特征面对膜-基结合强度的影响 |
| 4.5 轮胎模具DLC涂层摩擦磨损性能的研究 |
| 4.5.1 摩擦磨损试验 |
| 4.5.2 摩擦系数分析 |
| 4.5.3 磨损分析 |
| 4.6 H-DLC涂层与F-DLC涂层工作性能的对比 |
| 4.7 本章小结 |
| 第五章 总结与展望 |
| 5.1 课题研究工作总结 |
| 5.2 存在的问题和今后工作展望 |
| 参考文献 |
| 在读期间公开发表的论文及科研成果 |
| 致谢 |
（8）超硬纳微米PVD涂层技术在模具领域的发展（论文提纲范文）
| 1 PVD涂层技术的分类 |
| 1.1 真空蒸镀 |
| 1.2 阴极溅射 |
| 1.3 离子镀 |
| 2 PVD在模具领域内的应用 |
| 2.1 在冲压/成型模具上的应用 |
| 2.2 在挤压模具上的应用 |
| 2.3 在拉拔模具上的应用 |
| 2.4 在塑料模具上的应用 |
| 2.5 在铝合金压铸模具上的应用 |
| 2.6 在锻造模具上的应用 |
| 2.7 在合成橡胶模具上的应用 |
| 2.8 在精密玻璃透镜模具上的应用 |
| 3 结语 |
（9）气相沉积涂层技术用于钻探机具的硬质润滑薄膜（论文提纲范文）
| 0 引言 |
| 1 新颖的高耐磨涂层膜 |
| 2 钻探机具易损零件镀膜的必要性 |
| 3 气相沉积膜在钻机具上的应用验证 |
| 4 DLC架构下的新颖薄膜 |
| 5 结束语 |
（10）减摩耐磨镀层在压力连接模具上的应用研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 引言 |
| 1.2 压力连接模具 |
| 1.2.1 压力连接技术在汽车制造方面的应用 |
| 1.2.2 凸凹模简介 |
| 1.2.3 研究现状 |
| 1.3 气相沉积技术 |
| 1.3.1 气相沉积层的形成与结合 |
| 1.3.2 物理气相沉积（PVD） |
| 1.3.3 化学气相沉积（CVD） |
| 1.4 减摩耐磨镀层 |
| 1.4.1 固体自润滑材料 |
| 1.4.2 减摩耐磨薄膜 |
| 1.5 研究课题 |
| 1.5.1 研究目的和意义 |
| 1.5.2 研究内容、拟解决的关键问题及技术路线 |
| 1.6 本章小结 |
| 第二章 实验设备及方法 |
| 2.1 实验材料 |
| 2.2 镀膜设备及工艺 |
| 2.2.1 UDP-650/4 型闭合场非平衡磁控溅射离子镀系统 |
| 2.2.2 GLC 薄膜制备工艺 |
| 2.2.3 Tandem 350 型化学气相沉积系统 |
| 2.2.4 TiCN/TiC/TiCN/TiN 多层结构薄膜制备工艺 |
| 2.3 检测设备及方法 |
| 2.3.1 膜基结合强度的评定 |
| 2.3.2 显微硬度的测定 |
| 2.3.3 镀层厚度的计算 |
| 2.3.4 镀层形貌、微观结构及成分的检测 |
| 2.3.5 镀层摩擦磨损性能的测试 |
| 2.4 本章小结 |
| 第三章 GLC 薄膜的成分、结构和性能研究 |
| 3.1 非平衡磁控溅射离子镀技术沉积 GLC 薄膜的研究现状 |
| 3.2 实验结果及分析 |
| 3.2.1 膜基结合强度 |
| 3.2.2 显微硬度 |
| 3.2.3 薄膜厚度 |
| 3.2.4 薄膜拉曼光谱 |
| 3.2.5 薄膜表面、截面微观形貌和成分 |
| 3.2.6 薄膜 XRD 相结构 |
| 3.3 薄膜摩擦磨损实验结果及分析 |
| 3.3.1 薄膜在不同载荷下的摩擦磨损及承载性能 |
| 3.3.2 薄膜在高温下的摩擦磨损及承载性能 |
| 3.3.3 薄膜在不同介质环境中的摩擦磨损及承载性能 |
| 3.4 本章小结 |
| 第四章 TiCN/TiC/TiCN/TiN 多层结构薄膜的成分、结构和性能研究 |
| 4.1 TiCN、TiC 和 TiN 镀层的研究现状 |
| 4.2 实验结果及分析 |
| 4.2.1 膜基结合强度 |
| 4.2.2 显微硬度 |
| 4.2.3 薄膜厚度 |
| 4.2.4 薄膜表面、截面微观形貌和成分 |
| 4.2.5 薄膜 XRD 相结构 |
| 4.3 薄膜摩擦磨损实验结果及分析 |
| 4.3.1 薄膜在不同载荷条件下的摩擦磨损及承载性能 |
| 4.3.2 薄膜在高温条件下的摩擦磨损及承载性能 |
| 4.3.3 薄膜在不同介质条件下的摩擦磨损及承载性能 |
| 4.4 本章小结 |
| 第五章 GLC 与 TiCN/TiC/TiCN/TiN 薄膜的适用性探讨 |
| 5.1 GLC 薄膜与 TiCN/TiC/TiCN/TiN 多层结构薄膜的性能对比 |
| 5.1.1 力学性能 |
| 5.1.2 摩擦系数 |
| 5.1.3 比磨损率 |
| 5.1.4 承载性能 |
| 5.2 本章小结 |
| 结论与展望 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 |
| 致谢 |
| 附件 |
四、气相沉积技术在模具上的应用（论文参考文献）
- [1]Cr涂层改善PET光学薄膜模具精密电铸质量的研究[D]. 李月. 集美大学, 2021(01)
- [2]“热处理技术”和“真空镀膜技术”在走向融合[J]. 王福贞. 真空, 2020(05)
- [3]模具钢自纳米化及其盐浴渗钒的表面改性研究[D]. 王光. 中北大学, 2020(12)
- [4]区域化激光仿生耦合组合提高B2大型锻造模具性能及使用寿命研究[D]. 支本丰. 吉林大学, 2020(08)
- [5]基于纳米毛细管成形技术的一维纳米线微型气体传感器的制造[D]. 唐宁. 天津大学, 2019(06)
- [6]Cr12MoV钢表面电弧离子镀TiCN膜及复合处理技术研究[D]. 刘恋. 华南理工大学, 2019(01)
- [7]复杂形状工业模具DLC涂层制备可行性研究[D]. 李帅. 山东理工大学, 2019(03)
- [8]超硬纳微米PVD涂层技术在模具领域的发展[J]. 张而耕,朱州,张体波. 表面技术, 2014(05)
- [9]气相沉积涂层技术用于钻探机具的硬质润滑薄膜[J]. 唐宇,尹德政. 价值工程, 2014(21)
- [10]减摩耐磨镀层在压力连接模具上的应用研究[D]. 廖树辉. 华南理工大学, 2013(S2)